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被动隔振器为高速高精掩模台保驾护航—必威-官方网站
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被动隔振器为高速高精掩模台保驾护航 发布日期:2025-03-11 14:31:05 浏览次数:

  被动隔振器是一种通过材料本身的阻尼特性吸收振动能量的减震装置。它无需外部能源驱动,依靠结构设计实现减振降噪目标。

  在精密光学加工中,掩模台需要在纳米级精度范围内稳定工作,任何微小振动都会导致加工误差。传统单轴隔振系统难以同时抑制六个自由度方向的振动,且在高频振动抑制方面表现不足。

被动隔振器为高速高精掩模台保驾护航(图1)

  上海松夏开发的六自由度被动隔振器采用独特多层组合结构,通过优化材料配比和拓扑设计,在低频和高频段均能实现优异的隔振效果。其阻尼特性曲线覆盖宽频段,有效抑制了因设备自身运转和环境干扰引起的振动。

被动隔振器为高速高精掩模台保驾护航(图2)

被动隔振器为高速高精掩模台保驾护航(图3)

  产品采用模块化设计,适应不同载荷需求。创新的空气弹簧结构具备优异的线性特性和大行程能力,能够承载高达1000kg的设备重量。精密制造工艺确保了产品的稳定性和一致性,产品通过了严格的环境试验验证。

  该隔振器已成功应用于半导体制造、精密光学加工等领域。在某高端精密加工设备中应用后,掩模台的振动加速度降低了95%,平面度误差控制在0.1um以内,显著提升了加工精度和生产效率。

  让被动隔振器为您的精密设备提供更稳定的工作环境,确保精密加工的质量和效率。

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